Además de los cuatro errores geométricos de error de posicionamiento, error de rectitud, error de movimiento angular y error de perpendicularidad, el CMM también tiene cuatro errores geométricos debido a la deformación de la fuerza, la deformación térmica, el sistema de medición, el sistema de la sonda, el sistema de control, el registro de datos y el registro de datos Procesando.

El CMM se guía por los rodamientos de aire, por lo que no hay fricción y desgaste entre los rieles guía, y se puede mantener la uniformidad de rendimiento a largo plazo. El gas de alta presión entra entre la superficie de trabajo y la superficie de guía a través de los pequeños orificios de aire en el cojinete de aire, formando un espacio de aire uniforme. El espacio de aire de trabajo normal del rodamiento de aire es de entre 3 y 10 μm.