El CMM se guía por los rodamientos de aire, por lo que no hay fricción y desgaste entre los rieles guía, y se puede mantener la uniformidad de rendimiento a largo plazo. El gas de alta presión entra entre la superficie de trabajo y la superficie de guía a través de los pequeños orificios de aire en el cojinete de aire, formando un espacio de aire uniforme. El espacio de aire de trabajo normal del rodamiento de aire es de entre 3 y 10 μm.